スーパーシャープ•シリコン(SSS)
最も先鋭なシリコン探針

側面からみたSEM像

探針先端の拡大像

スーパーシャープ•シリコン（SuperSharpSilicon™, SSS)は市販されているシリコン探針の中で最もシャープな探針です。とてもユニークな製造方法によって、先端曲率半径およそ2nmのシャープな探針を実現しています。

探針高さ15-20μm、先端曲率半径5nm以下を80%の歩留まりで保証。探針先端部の150nmはアスペクト比4:1以上、ハーフコーンアングルは7°以下です。

スーパーシャープ•シリコン•シリーズはシリコン標準プローブ(PPP)をベースとしており、カンチレバーやハンドリングチップに関して多くの特徴をそのまま引き継いでいます。

1997年の発売以来、スーパーシャープ•シリコン探針は卓越したパフォーマンスを示してきました。ナノストラクチャやマイクロラフネスの高解像度な測定に最適です。

超微結晶薄膜(nanocrystallite) の表面を他社製シリコン探針（左図）とNANOSENSORS™スーパーシャープ•シリコン（中央図）でそれぞれイメージした場合を示します。スーパーシャープ•シリコンを使ったトポグラフィ像の方がよりくっきりと鮮明に現れているのが分かります。

従来のSPMプローブで観察した超微結晶薄膜(nanocrystallite) の表面トポグラフィ像

スーパーシャープ•シリコンAFMプローブで観察した超微結晶薄膜(nanocrystallite) の表面トポグラフィ像

2つのAFM像の断面比較

AFM像の断面を比較してみると（右図）、スーパーシャープ•シリコンでイメージした方が超微結晶の突起やへりの鋭さを正確に捉えているのが分かります。さらに高アスペクト比のおかげで突起間の深い谷の部分までイメージング出来ているのが分かります。

■ 製品仕様、タイプにつきましては製品カタログ(製品説明およびスペック表）をダウンロードしてご覧ください。

■ より詳しい製品情報をお探しの場合、英語Webサイトよりカタログをご利用頂けます。