白金シリサイド(PtSi)は抵抗率が低く化学的に安定なため、しばしばシリコン電子デバイスの電極材料として用いられる素材です。
白金シリサイド導電性プローブは、ベースとなるシリコン標準プローブ (PointProbe® Plus ) に導電性コーティングを施すだけではなく、プローブ先端を "シリサイド化" 処理しています。
従来の2種類の導電性プローブの長所、小さな先端曲率半径 、硬い最表面による高耐磨耗性、金属に近い高導電性を全て兼ね備えるプローブです。
様々なアプリケーション
• TUNA: トンネリング AFM
• SCM: 走査型 キャパシタンス AFM
• C-AFM: 導電型 AFM
• EFM: 静電気力測定
• KPFM: ケルビン•プローブ フォース測定
その他、拡散抵抗イメージを除くほとんどの電気測定モード
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