PointProbe Plus (PPP)

シリコン標準プローブ

PointProbe® Plus(PPP)シリーズはシリコン標準プローブとして世界中で用いられ、豊富なラインナップを取り揃え様々なアプリケーションをカバーしています。この高品質プローブが事実上のスタンダードです。

このシリーズは高分解能観察を実現する曲率半径7nm(代表値)の先鋭な先端を持ち、高解像度のスキャンイメージを得るのに適しています。先鋭な探針形状はきわめて再現性よくつくられており、先端曲率半径10nm 以下が保証されています。プローブ間のバラツキが少なく、高い再現性が求められる品質管理のアプリケーションなどにも用いることができます。

PointProbe® Plus 3D view (SEM image) PointProbe® Plus side view (SEM image) PointProbe® Plus front view (SEM image)
PointProbe® PlusのSEM像(左より、カンチレバー先端部、側面、正面)

PPP-NCHプローブのFEMシミュレーション。共振周波数におけるたわみを色で表していま PPP-NCHプローブのFEMシミュレーション。共振周波数におけるたわみを色で表しています。
PointProbe® Plusの探針は高さ10-15μmの多角錘形状をしており、探針全体を正面から見た場合のハーフコーンアングルは20°、側面からは25°から30°。探針先端部の200nmはさらに先鋭に作られておりハーフコーンアングルはおよそ10°です。

カンチレバーの断面形状はいくつかの利点がある台形をしています。レーザーを当てる側がより幅広く、同じ機械特性を持つ四角断面のものにくらべより多くの反射光が得られる他、光軸アライメントも容易にしています。また探針側の幅が狭いことで、測定サンプルに近づいた時のダンピングを低減しています。

PointProbe® Plus探針は機械特性の異なるカンチレバーと組み合わされて、ダイナミックモード(ACモード)/ ノンコンタクトモード/ タッピングモードなどの動的モードのみならず、コンタクトモード(DCモード)などの静的モードにも使える豊富なプローブラインナップを取り揃えております。


製品仕様、タイプにつきましては製品カタログ(製品説明およびスペック表)をダウンロードしてご覧ください。


より詳しい製品情報をお探しの場合、英語Webサイトよりカタログをご利用頂けます。


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