磁気力顕微鏡用プローブ
6種類のプローブをラインアップ

磁気力顕微鏡(Magnetic Force Microscopy, MFM)において良い結果を得るためには、測定試料に合ったプローブを選ぶことが大切です。NANOSENSORS™は種類の異なった磁性膜と形状の異なるシリコン探針を組み合わせ6種類のMFMプローブをラインアップしました。全てのプローブに長期安定性に優れた磁性膜を用いています。

  • PPP-MFMR
    MFM標準プローブ。硬質磁性膜のコーティングがなされ感度、解像度、保磁力のバランスが優れています。高感度の測定をしたい場合、磁気モーメントの大きなこの標準プローブをお勧めします。但し、磁気モーメントが大きくなると、試料の磁区に影響を与えるケースがあります。

  • PPP-LM-MFMR
    標準プローブPPP-MFMRに比べ、探針が試料の磁区に与える影響が小さく、面内方向の分解能がより優れたプローブです。製品仕様上、磁力に対する感度はPPP-MFMRに比べ劣ります。

  • PPP-LC-MFMR
    軟磁性の膜をコートしたMFMプローブ。磁性の変動を抑えて軟磁性試料の磁区を測定するのに最適です。製品仕様上コーティングの保磁力が小さいため、硬質磁性試料をスキャンするとコーティングの磁化再配向が容易に起こります。

  • SSS-MFMR
    高分解能MFM測定向けプローブ。スーパーシャープ•シリコン(SSS)をベースにしてとても薄い硬質磁性膜をコーティングし、きわめて小さな先端径と高アスペクト比(先端より数百nmの部分)を実現しています。製品仕様上、プローブの磁気モーメントが小さく、磁気力の検出感度は低下します。

  • SSS-QMFMR
    SSS-MFMRプローブのスペシャルバージョン。UHV環境下でQ値30'000以上を得られるよう、カンチレバー背面の反射コートを一部のみに限定した高分解能測定用MFMプローブ。磁気コーティングはSSS-MFMRと同じです。

  • PPP-QLC-MFMR
    PPP-LC-MFMRプローブのスペシャルバージョン。UHV環境下でQ値30'000以上が得られる軟磁性膜コートのMFMプローブ

先端形状・構造  PointProbe™ Plus スーパーシャープ 
 型番  PPP-MFMR PPP-LM-MFMR PPP-LC-MFMR /
PPP-QLC-MFMR
SSS-MFMR /
SSS-QMFMR
バネ定数 C 2.8 N/m 2.8 N/m 2.8 N/m 2.8 N/m
共振周波数 75 kHz 75 kHz 75 kHz 75 kHz
磁性膜 硬質磁性膜 硬質磁性膜 軟磁性膜 硬質磁性膜
保磁力※1 300 Oe 250 Oe 0.75 Oe 125 Oe
残留磁化※1 300 emu/cm3 150 emu/cm3 225 emu/cm3 80 emu/cm3
探針部磁気モーメント※2 10-13 emu ×0.5 ×0.75 ×0.25
探針曲率半径※3 < 50 nm < 30 nm < 30 nm < 15 nm
面内方向分解能 ※4 < 50 nm < 35 nm < 35 nm < 25 nm
※1 : 平面基板をコーティングした膜の特性値
※2 : 探針先端の実効的な磁気ボリュームを仮定して推測
※3 : 磁性膜を含む曲率半径
※4 : 最適な測定条件下での達成可能な分解能


製品仕様、タイプにつきましては製品カタログ(製品説明およびスペック表)をダウンロードしてご覧ください。


より詳しい製品情報をお探しの場合、英語Webサイトよりカタログをご利用頂けます。


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