アドバンスドテック(ATEC)
先端部から探針が突出

アドバンスドテック先端部SEM像 アドバンスドテック先端部SEM像
右図はAFMヘッドにマウントされ13°の角度がつけられた場合 右図はAFMヘッドにマウントされ13°
の角度がつけられた場合

アドバンスドテック(AdvancedTEC™, ATEC)シリーズは、カンチレバー先端部より前傾した三角錐の探針が突出しています。探針先端がプローブの最も先にあり、カンチレバー背面より実際に探針を視認できます。これはAFMヘッドにマウントされ角度がつけられて場合でも可能で(図参照)、探針のポジショニングを必要とする場合や、先端を直接見ながら作業をする場合(例えばナノマニピュレーション)にとても役に立ちます。

探針を備えるカンチレバー先端は三角形状をしており、マルチプローブなどのアプリケーションで複数プローブを出来るだけ詰めて配置したい場合に有利です。

アドバンスドテック•シリーズの探針は小さなハーフコーンアングルをもつスマートな形状をしており、ナノサイズのパターンや角度のきつい試料を計測する場合にパフォーマーを発揮します。

探針高さ15-20μm、先端の曲率半径は10nm(代表値)以下。探針全体を正面から見た場合のハーフコーンアングルは12°以下、側面からみた場合は5°以下。探針先端部の0.5μmはアスペクト比4:1以上。これは正面、側面のどちらからみた場合もほぼ同様です。


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